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当前产品加热器FBR系列气体纯化器

加热器FBR系列气体纯化器

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  • 公司名称张家港普瑞伦半导体设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地张家港市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/12/3 14:54:23
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产品详情

气体过滤器用水套加热器

气体过滤器烘烤用水套加热器FBR系列是用200℃高温烘烤过滤器的划时代的全新烘烤加热器。

● FBR系列可轻而易举地进行安装和拆除。

● 可进行200℃高温烘烤。

● 控制器单元具备防止过热的联锁功能与断线检测功能,因此安全可靠。。

● 通过可远程操控的数字式控制器轻而易举地设定温度、时间等,操作简便。。

● 加热器单元外形轻薄精巧,不占用空间。

如果过滤器内部的金属表面或元件中一旦吸着了大气中的水分,仅靠N2净化几乎无法将其清除。 而且,气体介质中如果存在H2O和O2,就会与室温环境中的水分起反应,导致过滤器内以及过程室内 的反应生成物引起的污染和腐蚀。因此若要解吸水分及其他脱气成分,有效的是200℃以上的烘烤。 PURERON JAPAN开发出了可对过滤器进行200℃高温烘烤的划时代的全新烘烤系统,从而实现了APIMS测量中1.2ppb的脱气量(水分量)。

规格:

TIM截图20190226085419.png


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张家港普瑞伦半导体设备有限

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